MF4300氣體質量流量計能直(zhi)接測量氣體(ti)質量流

量，適用于各類清潔、干燥氣體。MF4300工(gong)作壓力提高(gao)到

1.0MPa， 測 量 范 圍 涵 蓋 0~10SLPM到 0~200SLPM。

2 MF4300提(ti)供(gong)多種信號輸出，通過RS485或I C數字通訊接口

可實(shi)現遠程數(shu)據采(cai)集與設置。MF4300具備LED數字顯示(shi)和

按鍵功能，允許用戶(hu)在現場調整或查詢流(liu)量計的參數。

MF4300系(xi)(xi)列氣體質(zhi)量流量計是基于美國微(wei)機電系(xi)(xi)統(tong)有

限公(gong)司自(zi)主研(yan)制MEMS流(liu)(liu)量傳感芯片(pian)，其原理(li)是利用(yong)流(liu)(liu)動氣

體傳熱傳質(zhi)的依存關系，在(zai)其上、下游產(chan)生(sheng)溫度變化而得

到氣體的質量流(liu)量。

MF4300氣體質量流量計的MEMS芯片上集成了微熱源與溫(wen)度傳感

器。當(dang)沒有氣體流(liu)過時，MEMS芯片(pian)上的微熱(re)源(yuan)周邊形(xing)成穩

定的溫度場分布。當有氣體(ti)流過時(shi)，微熱源周邊會(hui)形成新

的溫度場分布。MEMS芯片上的溫度(du)傳感(gan)器將測(ce)量到具(ju)體的

溫度變(bian)化(hua)并轉換為電信號，經放大、調理(li)和(he)線(xian)性(xing)化(hua)處理(li)

后，通過LED顯示或模擬(ni)、數字信號輸出(chu)。由于不同種類的

氣體對微(wei)熱源周邊形成(cheng)穩定的溫度場(chang)分布所產生的溫度變

化不同(tong)，所以能測(ce)量氣體的質(zhi)量流量。